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用物理气相沉积涂层体系复合阴极物理气相沉积涂层和基层的方法和仪器

信息来源:paintkey.com  时间:2009-03-20  浏览次数:142

  公开(公告)号: US2009068450 (A1)
  公开(公告)日: 2009-03-12?
  发明者: MUENZ WOLF-DIETER [AT]; HOFMANN DIETER [DE]; KUNKEL STEFAN [DE]; MANGOLD JUERGEN [DE]; SCHUESSLER HANS [DE]?
  分类号:??
  - 国际: B32B15/04; B32B9/00; B32B9/04; C23C14/34; C23C14/35; C23C14/42; B32B15/04; B32B9/00; B32B9/04; C23C14/34; C23C14/35; C23C14/42?
  - 欧洲: C23C14/35D; C23C14/06F?
  申请号: US20060995123 20060711?
  优先权: DE200510033769 20050715; WO2006EP06768 20060711?
  摘要:
  本发明涉及一种复合阴极物理气相沉积系统的操作方法。根据该专利,该方法是一种由部分磁场和直流电磁场协助阴极飞溅的高功率脉冲阴极飞溅的阴极操作。该高功率脉冲阴极飞溅是由在反应物基层的真空预处理中的离子帮助的过程中用作复合电离金属离子的磁场协助的,两种类型的阴极飞溅在涂装过程中采用,并且,两种类型的阴极飞溅被连接至不同的材料。
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